Park FX200 | 200mm 웨이퍼 분석에 최적화된 원자현미경
Park FX200은 200mm 웨이퍼 분석에 최적화되어 있으며, 최대 16개의 소형 시료 또는 200mm 웨이퍼를 장착할 수 있습니다. 이 장비는 기존 원자현미경보다 향상된 고도의 자동화 기능을 특징으로 하며, 정밀도를 극대화한 기계 구조를 통해 노이즈 플로어와 열 드리프트를 최소화하여 측정의 안정성과 정확성을 높였습니다. Z 서보 성능 개선으로 빠른 측정이 가능하며, 고성능 광학 시스템이 적용되어 고해상도의 이미지를 제공합니다. FX200은 탐침의 교환과 인식, 레이저 빔 자동 정렬을 통해 측정 준비 시간을 획기적으로 단축하고 측정의 정밀도를 향상시키며, 매크로 광학 기능을 통해 200mm 웨이퍼 전체를 직관적으로 확인하고, 빠르게 이동할 수 있어 작업 속도가 크게 개선되었습니다. 또한, 자동 측정 기능(StepScan)을 통해 생산성을 높이고, 숙련된 사용자와 초보자 모두에게 편리함을 제공하여 다양한 분야에서 활용할 수 있는 기회를 제공합니다.
http://www.parksystems.co.kr/fx200
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